上海潤鑄UVLED解膠機(jī)是一種冷光源LED紫外線解膠固化燈,用于完成晶圓芯片自動解膠的光源固化設(shè)備。它采用紫外光固化的方式,將UV切割膜膠帶表面固化,從而使晶圓芯片的解膠過程更加高效。
LEDUV解膠機(jī)主要應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)加工過程中。在芯片劃片前,晶圓需要用劃片膠膜固定在框架上。完成劃片加工后,需要使用解膠機(jī)的紫外光源照射劃片膠膜,使其固化。這樣,晶圓就能夠順利進(jìn)行后續(xù)的封裝工序。不僅在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中,UVLED解膠機(jī)在其他行業(yè)也有廣泛的應(yīng)用。例如陶瓷切割、玻璃加工等工藝都需要使用紫外解膠工序。光學(xué)鏡頭、LED集成芯片、線路板等半導(dǎo)體材料的UV脫膠也可以使用其完成。相較于市面上使用的汞燈光源,UVLED解膠機(jī)具有許多優(yōu)勢。它采用單波段UV紫外光源進(jìn)行低溫照射,避免了熱敏材質(zhì)和晶圓切片的損壞。被照射物體表面的升溫不高,滿足了晶圓加工行業(yè)的UV膠膜的脫膠工藝要求。
UVLED解膠機(jī)還具有以下特點:
1.設(shè)備小巧,適合6/8/10/12寸晶圓芯片整片照射使用;
2.智能控制面板,可根據(jù)需要自由設(shè)定照射時間和功率大??;
3.照射模式自下往上,方便放置和取出晶圓切片;
4.LED冷光源照射模式,具有溫度低、曝光均勻、結(jié)構(gòu)緊湊、低能耗的優(yōu)點,是半導(dǎo)體行業(yè)理想的解膠設(shè)備;
5.UVLED解膠機(jī)的使用安全環(huán)保,無汞污染,不會對環(huán)境造成危害。
UVLED解膠機(jī)以其多波段光源選擇、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域、低溫照射、便攜性、智能控制和長壽命等特點,在固化行業(yè)中發(fā)揮著重要作用。它是一種高效、可靠、經(jīng)濟(jì)、安全、環(huán)保的解膠固化設(shè)備,為半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)加工提供了有效的解決方案。
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